課程介紹
本課程目標在於讓學生習得精密加工與製造之知識及其基本原理與應用，並透過期末專題，養成學生自我學習的態度。課程內容介紹各式精密加工技術、原理及其現況與發展，內容包括精密加工概論、精密切削加工、能量束加工、電化學加工以及微機電系統與微細加工，以使修習學生具備精密加工所需之基礎知識。
授課內容：
- 精密加工概論：精密度、準確度與解析度、ISO精度等級、一般加工之精度、精度與公差、加工機與刀具、切削顫振
- 精密切削加工：精密鑽石車削、鏡面與虹面車削、高速切削、脆性材料延性切削、微細切削加工
- 精密研磨與拋光：輪磨、精密機械研磨與拋光
- 能量束加工：放電與微放電加工、線切割放電加工、雷射加工、電子束加工、電漿加工
- 化學與電化學加工：化學銑削、化學蝕刻加工、電化學加工、電解加工
- 複合加工：放電研磨、機化學拋光、化學機械研磨與拋光、微影與化學加工、LIGA
- 應用例：積體電路製程
教科書:
參考資料：
- 課堂講義
- D. Dornfeld and D. E. Lee, Precision Manufacturing, Springer, 2008.
- M. J. Madou, Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, 2nd ed., 2002, CRC Press, ISBN: 9781482274004.
- H. Nakazawa, Principle of Precision Engineering, translated by R. Takeguchi, 1994, Oxford University Press, ISBN: 0198562667.
- 田中義信、津和秀夫、井川直哉，精密加工新技術全集，賴耿陽譯，復漢出版社印行，民79年。
- M. Jouaneh and S. S. Rangwala, Precision Machining: Technology and Machine Development and Improvement, 1992, ASME Press, ISBN: 0791810674.
- 超精密加工編集委員會編，超精密加工の基礎と實際，日刊工業新聞社初版，2006年2月初版。
本課程不開放報名
